反滲透凈水設備是將原水經(jīng)過精細過濾器、顆?；钚蕴歼^濾器、壓縮活性碳過濾器等，再通過泵加壓，利用孔徑為1/10000μm（相當于大腸大小的1/6000，的1/300）的反滲透膜（RO膜），使較高濃度的水變?yōu)榈蜐舛人?，同時將工業(yè)污染物、重金屬、、等大量混入水中的雜質(zhì)全部隔離，從而達到飲用規(guī)定的理化指標及衛(wèi)生標準，產(chǎn)出至清至純的水，是人體及時補充水份的選擇.由于RO反滲透技術生產(chǎn)的水純凈度是目前人類掌握的一切制水技術中高的，所以人們稱這種產(chǎn)水機器為反滲透純凈水機。
反滲透是一種現(xiàn)代新型的純凈水處理技術。通過反滲透元件來提高水質(zhì)的純凈度，清除水中含有的雜質(zhì)和鹽。我們?nèi)粘Ｋ玫募儍羲际墙?jīng)過反滲透設備處理的，水質(zhì)清澈。
工藝流程
1、原水(深井水)——原水箱——原水增壓泵——多介質(zhì)過濾器——活性炭過濾器——樹脂軟化系統(tǒng)(或加藥系統(tǒng)、PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng))——5微米精密過濾器——反滲透主機系統(tǒng)——臭氧殺菌系統(tǒng)——純凈水箱——灌裝線(或用水點)
2、 市政自來水——多介質(zhì)過濾器——活性炭過濾器——樹脂軟化系統(tǒng)(或加藥系統(tǒng)、PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng))——5微米精密過濾器——反滲透主機系統(tǒng)——臭氧殺菌系統(tǒng)——純凈水箱——灌裝線(或用水點)

超純水設備系統(tǒng)在半導體晶片制造過程中重起到至關重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認為，穩(wěn)定可靠的超純水設備系統(tǒng)是保障半導體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關鍵。
一、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)簡介
本方案以半導體晶片生產(chǎn)用超純水設備系統(tǒng)為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設備系統(tǒng)設計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設備系統(tǒng)設計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設備組合方案的過程。不同凈化設備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標要求：
二、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)設計特點
典型的超純水設備系統(tǒng)流程可分為部分：預處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設備系統(tǒng)設計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導率，TOC等指標較差外，大部分指標都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設計一些凈化設備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節(jié)水環(huán)保的目的。當然，回收率越高，其設備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設計兼顧經(jīng)濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)設計方案
預處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復合(TFC)膜低，本設計用于一級反滲透，作為預處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導率而設計，同時可進一步純化預處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質(zhì)不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

我們想要購買一樣商品時首要考慮的是我們的所需，也就是所商品的主要用途。我們今天就了解一下實驗室所用的超純水機的主要用途。實驗室超純水機可以將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的設備。因此，實驗室超純水機可以說是每個實驗室都不可缺的一個重要設備。
實驗室超純水機產(chǎn)出的超純水主要用途說明：
1、、制劑室及中心實驗室用純化水和高純水
2、各種用生化儀、分析儀、血液透析儀用水
3、各種液相色譜、離子色譜用水
4、其他各種實驗室用水和用水。
5、分析試劑及配置稀釋用水
6、生理、病理、毒理學實驗用水
7、動、植物細培養(yǎng)用水
8、原子吸收光譜用水
9、用水

工業(yè)純水設備的穩(wěn)定運行及使用壽命，與日常的運行管理息息相關，正確操作需注意以下事項。
1、反滲透膜的水解易造成反滲透裝置的性能惡化，因此要嚴格控制水的PH值，給水PH值在3-11范圍內(nèi)。
2、如果給水的FI值超標，膜組件的表面會附著污垢，出現(xiàn)這種現(xiàn)象須進行清洗。
3、因注入的次氯酸鈉量不足，造成給水中的游離氯不能測出時，工業(yè)純水設備的膜組件會有黏泥，使壓差增加，所以要嚴格控制進入膜組件的游離氯量，制止超過規(guī)定值導致膜氧化分解。
4、給水不能超過設計標準值，否則會造成膜組件提前劣化。另外，濃水的不得小于設計標準值，否則會使工業(yè)純水設備的壓力容器流動不均勻，由過分濃縮使膜組件析出污垢。
5、高壓泵不可中斷運轉，否則裝置容易故障。
工業(yè)純水設備
6、夏天給水溫度高，產(chǎn)水就多，減低操作壓力的話，會導致產(chǎn)水水質(zhì)下降。因此，建議操作壓力保持，減少膜組件的數(shù)量便可。
7、冬季水溫下降，為了制止反滲透裝置停運時析出二氧化硅，應用低壓給水置換反滲透裝置內(nèi)的水。
8、如果沒有適當?shù)膲簩?，會減低工業(yè)純水設備除鹽率，因此壓力要保持適當?shù)脑６取?br/>9、保安過濾器壓差加快上升，是因為渾濁度的泄漏；出現(xiàn)壓差加快下降的現(xiàn)象，是元件緊固螺絲松動，或是精密過濾器元件破損等原因造成的。
10、如果工業(yè)純水設備和出口的壓差超標，說明給水在設計值以上，或者是膜面受到污染。重新調(diào)整，或者更換膜元件便可。
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