超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過(guò)程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過(guò)35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡(jiǎn)介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對(duì)于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過(guò)程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過(guò)程。不同凈化設(shè)備對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率。對(duì)超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級(jí)制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對(duì)性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過(guò)70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過(guò)250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來(lái)水—加藥—多介質(zhì)過(guò)濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過(guò)濾器—一級(jí)反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過(guò)濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過(guò)濾器—二級(jí)反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過(guò)濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過(guò)濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過(guò)濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過(guò)反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對(duì)本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過(guò)濾器：過(guò)濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級(jí)反滲透：反滲透對(duì)除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級(jí)反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長(zhǎng)膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過(guò)的回收純水。
7.活性炭過(guò)濾器：表面具有無(wú)數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過(guò)反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽(yáng)離子樹(shù)脂床和陰離子樹(shù)脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽(yáng)離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹(shù)脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級(jí)制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級(jí)制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長(zhǎng)254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過(guò)濾器：過(guò)濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級(jí)反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級(jí)反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級(jí)反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)?，隔絕空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長(zhǎng)1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽(yáng)離子樹(shù)脂，混床中使用的樹(shù)脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過(guò)濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹(shù)脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾?，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

產(chǎn)品介紹
中水回用，是解決城市水資源的重要途徑，也是協(xié)調(diào)城市水資源與水環(huán)境的根本出路，生活污水處理回用，既能減小對(duì)地下水的開(kāi)采，又能給我們帶來(lái)一定的經(jīng)濟(jì)效益。中水是指各種排水經(jīng)處理后，達(dá)到規(guī)定的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，可在生活、市政、環(huán)境等范圍內(nèi)雜用的非飲用水。因?yàn)樗乃|(zhì)指標(biāo)低于生活飲用水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，但又高于允許排放的污水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，處于二者之間，所以叫做“中水”。
水處理設(shè)備10噸中水回用設(shè)備適用范圍：學(xué)校、工廠、小區(qū)等人口相對(duì)集中的生活區(qū)域。
工藝設(shè)計(jì)
建筑物中的生活污水經(jīng)分流管道收集后，先經(jīng)過(guò)預(yù)處理：格柵+調(diào)節(jié)池，隔除懸浮固體物質(zhì)。經(jīng)過(guò)生化處理之后，廢水經(jīng)潷水器進(jìn)入中間池，然后經(jīng)過(guò)物理過(guò)濾消毒后進(jìn)入清水池留待回用。
中水回用設(shè)備工藝流程.png
設(shè)備特點(diǎn)
1、耐沖擊負(fù)荷能力強(qiáng)，凈化效率高，系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定，處理過(guò)程無(wú)氣味；
2、處理流程簡(jiǎn)單，可實(shí)現(xiàn)構(gòu)筑物一體化，可無(wú)人職守；
3、無(wú)需污泥馴化，掛膜容易，脫膜快，微生物生長(zhǎng)快，啟動(dòng)時(shí)間短；
4、占地面積小，投資省，運(yùn)行費(fèi)用低；
5、污泥消耗率高，產(chǎn)泥量小。

貴州水處理設(shè)備，純凈水設(shè)備設(shè)計(jì)原理
純凈水設(shè)備是礦泉水廠中不可缺少的裝置，它的優(yōu)點(diǎn)在于可根據(jù)不同地區(qū)的水質(zhì)進(jìn)行設(shè)計(jì)不同的生產(chǎn)工藝使出水水質(zhì)達(dá)到統(tǒng)一國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。
純凈水設(shè)備工藝說(shuō)明
如果原水水質(zhì)硬度高，需采用納濾與中空纖維超濾作為主要工藝，進(jìn)行水質(zhì)的凈化與水軟化。通過(guò)中空超濾，對(duì)水質(zhì)進(jìn)行凈化處理;再通過(guò)納濾，去除水中較硬的礦物質(zhì)。同時(shí)采用臭氧殺菌，輔以鈦棒過(guò)濾器，使得出水水質(zhì)符合礦泉水《GB8537-95》的規(guī)定。
如果原水水質(zhì)較好，原水中礦物質(zhì)成份比較簡(jiǎn)單的礦泉水，采用兩級(jí)精密過(guò)濾器，臭氧滅菌和中空纖維超濾器的成熟工藝。使得終出水水質(zhì)符合國(guó)標(biāo)《GB8537-95》標(biāo)準(zhǔn)。
純凈水設(shè)備主要特點(diǎn)
1.自動(dòng)模塊設(shè)計(jì)控制，流程清晰明了，操作簡(jiǎn)單方便，易于維護(hù)保養(yǎng)
2.能夠使二級(jí)濃水回流，節(jié)電節(jié)水，降低運(yùn)作成本
3.吸附過(guò)濾器，吸附流程長(zhǎng)，所產(chǎn)純水穩(wěn)定、符合國(guó)標(biāo)
4.采用多級(jí)離心泵，動(dòng)力持久，確保無(wú)障礙長(zhǎng)期運(yùn)行
5.選用UF系統(tǒng)程序自動(dòng)控制器，自動(dòng)定時(shí)沖洗，延長(zhǎng)UF納濾膜使用壽命
由于純凈水設(shè)備原水一般采用地下水，山泉水，井水等，它們富有的礦物質(zhì)要比自來(lái)水礦物質(zhì)含量高，我國(guó)目前大多井水及地下水中鐵錳含量較高，因此可在純凈水設(shè)備預(yù)處理工藝中添加鐵錳過(guò)濾器，將水中對(duì)人們身體有害的鐵錳物質(zhì)完全去除。

量型：流量達(dá)到設(shè)定值時(shí)開(kāi)始還原，適用于所有系統(tǒng)供水。軟化水設(shè)備,鍋爐軟化水設(shè)備
微電腦型：將水質(zhì)資料輸入微電腦．可自動(dòng)設(shè)置各程序的時(shí)間。如配用中央控制器，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制，適用于自動(dòng)化程度較高的樓宇自控等系統(tǒng)供水。
參數(shù)和使用要求：原水硬度：3-10mg-N／L(1mg-N／L=2.8德國(guó)度=50mg／LCaCO3硬度)，如原水硬度高于10mg-N／L,選型時(shí)加大一個(gè)型號(hào)或采用二級(jí)軟化。
●出水口硬度：≤0.03mg-N／L
●水壓：0.2-0.6Mpa
●工作溫度：2-50℃
●自控電源：220V，50Hz
●耗電量：<10W
●鹽耗：<100克／克當(dāng)量
全自動(dòng)軟化控制方式 　
A、 由一個(gè)交換罐、一個(gè)控制閥和一個(gè)鹽箱組成。再生控制方式分為時(shí)間型和流量型，再生時(shí)需停止產(chǎn)水2小時(shí)，適用于間歇供水場(chǎng)合，若需連續(xù)供水，可配置一個(gè)儲(chǔ)存2小時(shí)水量的水箱。
B、由一個(gè)控制閥控制兩臺(tái)交換罐交替供水，交替再生，實(shí)現(xiàn)不間斷供水，適用于連續(xù)供水的場(chǎng)合，再生方式為流量型。
C、由兩個(gè)控制閥，兩個(gè)交換罐和一個(gè)鹽箱組成，兩套罐交替供水．交替再生．連續(xù)供水．再生控制方式為流量型。
D、由兩個(gè)控制閥、兩個(gè)交換罐、兩個(gè)鹽箱組成，兩套罐同時(shí)供水，交替再生，連續(xù)供水，再生控制方式為流量型。軟化水設(shè)備產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：
1. 進(jìn)口控制閥：閥體材質(zhì)為高強(qiáng)度輕質(zhì)耐腐蝕工程塑料、無(wú)鉛黃銅。軟化水設(shè)備,鍋爐軟化水設(shè)備,全自動(dòng)軟化水設(shè)備
2. 抗腐蝕罐體：罐體材質(zhì)為玻璃鋼（可選用碳鋼或不銹鋼襯塑罐體），罐體防腐、耐壓，使用壽命長(zhǎng)。
3. 均勻布水系統(tǒng)：采用射流式布水，樹(shù)脂有效交換容量得以充分發(fā)揮，用鹽控制，無(wú)須鹽泵。
4. 進(jìn)口高性能樹(shù)脂：選用強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂，破損率低，粒度均勻，提高離子交換率。
軟化水設(shè)備工作程序：
1. 供水：未處理的水通過(guò)樹(shù)脂層，發(fā)生交換反應(yīng)，產(chǎn)生軟水。
2. 反洗：水從樹(shù)脂層下部進(jìn)入，松動(dòng)樹(shù)脂，去除細(xì)碎雜物。
3. 進(jìn)鹽水再生：利用較高濃度的鹽水（Nacl）流過(guò)樹(shù)脂，將失效樹(shù)脂重新還原為鈉型可用樹(shù)脂。
4. 沖洗：按照供水時(shí)的流程使水通過(guò)樹(shù)脂沖洗掉多余的鹽液和再生交換下來(lái)的鈣、鎂離子。
5. 注水：向鹽箱內(nèi)注水，溶解食鹽，以備下次再生所用。
軟化水設(shè)備性能特點(diǎn)：
1. ：軟水器整體設(shè)計(jì)配套合理，使樹(shù)脂的有效工作交換容量得以充分發(fā)揮。
2. 省工：自動(dòng)化程度高，無(wú)需設(shè)專人值守。
3. 省水：軟水器制水率達(dá)98%以上。
4. 省電：采用虹吸再生原理，無(wú)需鹽泵，耗電量?jī)H相當(dāng)于手動(dòng)軟水設(shè)備的1%。
5. 占地空間?。褐恍杼峁?shù)脂罐和鹽罐的占地空間，節(jié)省管路、鹽泵所占空間。
6. 調(diào)整方便：用戶可根據(jù)實(shí)際需要，自行調(diào)整再生周期和再生時(shí)間。
7. 運(yùn)行費(fèi)用低：由于自動(dòng)化程度高，軟水器能適應(yīng)水量變化，地計(jì)量產(chǎn)水量、計(jì)量再生劑的用量，避免了再生時(shí)再生劑無(wú)辜的浪費(fèi)，同時(shí)可節(jié)省大量的人工費(fèi)。 
軟化水裝置安裝要求：
1. 地基需水平，就近設(shè)置地漏或排水溝，以排走再生廢水。設(shè)備附近應(yīng)設(shè)立的電源插座。
2. 鹽箱應(yīng)靠近交換罐，吸鹽管越短越好。
3. 進(jìn)水管上應(yīng)安裝上Y型過(guò)濾器以及水表，出水口應(yīng)設(shè)取樣口。
4. 進(jìn)出水管上應(yīng)安裝手動(dòng)閥門，進(jìn)出水口之間應(yīng)設(shè)旁通閥，以便在再生或檢修時(shí)繼續(xù)供水。軟化水設(shè)備,鍋爐軟化水設(shè)備,全自動(dòng)軟化水設(shè)備
三、應(yīng)用范圍：系列全自動(dòng)軟水器：可廣泛應(yīng)用于蒸汽鍋爐、熱水鍋爐、交換器、蒸發(fā)冷凝器、空調(diào)、直燃機(jī)等系統(tǒng)的補(bǔ)給水的軟化。還可用于賓館、飯店、寫字樓、公寓等生活用水的處理及食品、飲料、釀酒、洗衣、印染、化工、醫(yī)藥等行業(yè)的軟化水處理。目前已廣泛應(yīng)用于各種蒸汽鍋爐、熱水鍋爐、熱交換器、蒸汽冷凝器、空調(diào)、直燃機(jī)等設(shè)備及系統(tǒng)的循環(huán)補(bǔ)給水中。此外還用作生活水處理，食品、電鍍、醫(yī)藥、化工、印染、紡織、電子等工業(yè)水處理以及作為脫鹽系統(tǒng)的前置處理。
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